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半导体相关元器件省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
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ckd气缸以对应流量控制清洁化以及、节能等多种多样需求为背景,推出了丰富多彩的产品。在“f.r.l单元”和“空气干燥器”为主的清洁系统以及气动辅助元件的开发和制造方面,充分利用有关的丰富实际成绩和技术决窍,不断扩大系统---设备。控制空气流动的电控比例减压阀、开放式串行对应阀等气动控制元件、能够低成本简单实现自动化的气缸及电动缸等驱动元件也不断得到充实。
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速度控制阀sya5220-c6
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电磁阀sya5220-01
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